10.91 USD
Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий. Учебное посбие для вузов т.2
Во втором томе изложены технологические и конструктивные основы и особенности методов формирования и "сухого" травления на поверхности подложки тонких слоев и локальных областей проводящих, диэлектрических и...
