
Лазерные микротехнологии и их применение в электронике
Авторами проведен анализ достижений и проблем бурно развивающихся в настоящее время лазерных микротехнологий. Рассмотрены основные физико-химические особенности лазерностимулированных микропроцессов на поверхности...
