Григорьев Василий

Василий Григорьев


Произведения автора1

 

Нет в продаже

Индуктивные источники высокоплотной плазмы и их технологические применения

Лев Сейдман Евгений Берлин Василий Григорьев

Тенденции развития современной технологии электронной техники заключаются в увеличении степени интеграции изделий на поверхности подложек, что связано как с увеличением диаметра применяемых в производстве подложек,...