Современные технологии изготовления трехмерных электронных устройств. Методическое пособие
С развитием высоких технологий производства электронных устройств становится реальным выпуск трехмерных электронных устройств (ТЭУ), в том числе субмикронных монолитных схем. На основе классификации формирования ТЭУ...