Путря М. Г.

М. Г. Путря


Произведения автора1

 

Нет в продаже

Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых микросхем

Т. Ю. Крупкина М. Г. Путря Михаил Королев

Дано представление об основных маршрутах изготовления и конструкциях изделий микроэлектроники на основе кремния. Рассмотрены основные процессы создания интегральных схем: химическая и плазмохимическая обработка...