Л. А. Сейдман

Получение тонких пленок реактивным магнетронным распылением

Евгений Берлин Л. А. Сейдман

Книга представляет собой подробное справочное руководство по физическим основам, технологическим особенностям и практическому применению процесса реактивного магнетронного нанесения тонких пленок сложного состава,...

Плазменная химико-термическая обработка поверхности стальных деталей

Евгений Берлин Николай Коваль Л. А. Сейдман

Книга представляет собой подробное справочное руководство по основам плазменной химико-термической обработки поверхности стальных деталей. В ней обобщены сведения о современном развитии этих технологических процессов,...

Получение тонких пленок реактивным магнетронным распылением

Е. В. Берлин Л. А. Сейдман

Книга представляет собой подробное справочное руководство по физическим основам, технологическим особенностям и практическому применению процесса реактивного магнетронного нанесения тонких пленок сложного состава,...

Плазменная химико-термическая обработка поверхности стальных деталей

Е. В. Берлин Н. Н. Коваль Л. А. Сейдман

Книга представляет собой подробное справочное руководство по основам плазменной химико-термической обработки поверхности стальных деталей. В ней обобщены сведения о современном развитии этих технологических процессов,...

Ионно-плазменые процессы в тонкопленочной технологии

Е. В. Берлин Л. А. Сейдман

Настоящая книга представляет собой подробное справочное руководство по основным вакуумным плазмохимическим процессам в тонкопленочной технологии - реактивному магнетронному нанесению тонких пленок и ионно-плазменному...