
Высокочастотный емкостный разряд. Физика. Техника эксперимента. Приложения
Дано исчерпывающее изложение современного состояния знаний о высокочастотном разряде емкостного типа. Рассмотрена физика разрядных процессов, техника и практические методы эксперимента, диагностики, измерений при...
