В. Слепцов

Современные технологии изготовления трехмерных электронных устройств

А. Кондрашин А. Лямин В. Слепцов

С развитием высоких технологий становится реальным выпуск трехмерных электронных устройств (ТЭУ), в том числе микронных и субмикронных многослойных схем. На основе классификации формирования ТЭУ на плоских (2D) и...