Яфаров Р.К.

Р.К. Яфаров


Произведения автора1

Физика СВЧ вакуумно-плазменных нанотехнологий

Р.К. Яфаров

В книге обозначены и насколько возможно полно раскрыты современные тенденции и подходы в разработке СВЧ плазмохимического оборудования и нанотехнологий на его основе. Излагаются математическая теория диффузионных...