Titaniumaluminiumnitrid (kurz TiAlN, AlTiN oder auch Ti-Al-N) steht fur eine Gruppe von metastabilen Hartstoffschichten bestehend aus den metallischen Elementen Aluminium (Al), Titan (Ti) und Stickstoff (N). Dabei wird die Bezeichnung AlTiN fur Materialien mit einem Verhaltnis Al / Ti > 1 (in at.%) genutzt. Die Schichten werden mittels reaktiver PVD-Verfahren, vorrangig der kathodischen Vakuumbogenverdampfung aber auch teilweise mittels Magnetronsputtern, abgeschieden.

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