Издательство: | Физматлит |
Дата выхода: | апрель 2007 |
ISBN: | 5-94052-065-0 |
Объём: | 431 страниц |
Обложка: | твёрдая |
Монография обобщает теоретические и экспериментальные данные о растворимости, миграции и взаимодействиях практически всех легирующих примесей в монокристаллах и полупроводниках. Проанализированы состояние и поведение водородоподобных примесей, d- и /-примесей, газообразующих, амфотерных и изовалентных примесей. Рассмотрены энергетические уровни, их заполнение электронами, термодинамика и кинетика растворимости, комплексообразования, диффузии, электронно-фононных и примесно-вакансионных взаимодействий. Для научных и инженерно-технических работников в области изучения, обработки и применения полупроводников, профессорско-преподавательского состава вузов, аспирантов, студентов.