Атомы легирующих примесей в полупроводниках (состояние и поведение)

Атомы легирующих примесей в полупроводниках (состояние и поведение)

В. И. Фистуль

     

бумажная книга



Издательство: Физматлит
Дата выхода: апрель 2007
ISBN: 5-94052-065-0
Объём: 431 страниц
Обложка: твёрдая

Монография обобщает теоретические и экспериментальные данные о растворимости, миграции и взаимодействиях практически всех легирующих примесей в монокристаллах и полупроводниках. Проанализированы состояние и поведение водородоподобных примесей, d- и /-примесей, газообразующих, амфотерных и изовалентных примесей. Рассмотрены энергетические уровни, их заполнение электронами, термодинамика и кинетика растворимости, комплексообразования, диффузии, электронно-фононных и примесно-вакансионных взаимодействий. Для научных и инженерно-технических работников в области изучения, обработки и применения полупроводников, профессорско-преподавательского состава вузов, аспирантов, студентов.

Каталог