Diese Arbeit verfolgt einen neuen Ansatz bei der Modellierung der Mikromechanik in Systemen der Mikrosystemtechnik: Die Modellierung geschieht auf der Grundlage eines Baukastens von Modellen fur Basis-Effekte. Die Modellgleichungen der Effekte basieren auf analytischen Gleichungen, die wenig Rechenzeit benotigen und die somit fur Systemsimulationen bestens geeignet sind. Die Modelle wurden in der analogen Hardwarebeschreibungssprache VHDL-AMS (IEEE 1076.1) implementiert, die eine Co-Simulation von Elektronik und Mechanik in Schaltungssimulatoren unterstutzt. Ein Layoutgenerator erstellt dabei das Layout der siliziumbasierten mikromechanischen Strukturen. Ein Synthesewerkzeug mit integrierter Anwenderoberflache stellt auf Basis funktionaler Grossen die erforderlichen Daten fur die koharente Layoutgeneration und Modellbildung zur Verfugung. Dies unterstutzt den Entwurf von mikroelektromechanischen Systemen (MEMS) nach dem Top-Down-Verfahren. Die Methode wird anhand mikromechanischer Demonstratoren veranschaulicht: einem Drucksensorsystem, einem Gyroskopen, einem Beschleunigungssensor und einem Mikrospiegelsystem.

Данное издание не является оригинальным. Книга печатается по технологии принт-он-деманд после получения заказа.