Издательство: | Книга по требованию |
Дата выхода: | июль 2011 |
ISBN: | 978-6-1340-1116-7 |
Объём: | 68 страниц |
Масса: | 123 г |
Размеры(В x Ш x Т), см: | 23 x 16 x 1 |
High Quality Content by WIKIPEDIA articles! Bulk micromachining is a process used to produce micromachinery or microelectromechanical systems. Unlike surface micromachining, which uses a succession of thin film deposition and selective etching, bulk micromachining defines structures by selectively etching inside a substrate. Whereas surface micromachining creates structures on top of a substrate, bulk micromachining produces structures inside a substrate. Usually, silicon wafers are used as substrates for bulk micromachining, as they can be anisotropically wet etched, forming highly regular structures.
Данное издание не является оригинальным. Книга печатается по технологии принт-он-деманд после получения заказа.