Die ursprunglich als Diplomarbeit verfasste Schrift beschreibt den Aufbau eines preiswerten Messplatzes zur optischen Charakterisierung von diffraktiv-optischen Mikrostrukturen. Es wird in diesem Rahmen ein kompletter Messplatz konzeptioniert und sein Aufbau dokumentiert. Dem zu Grunde liegend wird zunachst die Fraunhofer-Beugung am linearen Binargitter und Bestimmung der Strukturtiefe aus dem Beugungsbild erlautert. Es wird auf das optische Messprinzip samt Beispielmessungen eingegangen. Besondere Beachtung findet die Darstellung der Implementierung des Messplatzes. Dies fuhrt von der Konzeptionierung uber die Konstruktion bis hin zur Auswertung mit dem Programm LabVIEW 8.2.

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