Рассмотрена термодинамика точечных дефектов, используются современные представления о процессах образования и взаимодействия точечных дефектов, при этом учитывается участие электронной подсистемы кристаллов в процессе дефектообразования.
Изложены основные закономерности, управляющие синтезом твердого тела с заданными свойствами.
Для студентов технических вузов, изучающих микроэлектронику и твердотельную электронику, физическую химию материалов и процессов электронной техники, микросистемную технику, материалы микросистемной техники, а также для аспирантов и научных работников, занимающихся исследованиями в этих областях.