В данном учебном пособии излагаются основные принципы технологии создания гетероструктур на основе сегнетоэлектриков, обсуждаются различные методы, их достоинства и недостатки. Подробно анализируется метод высокочастотного катодного распыления для получения пленок сложных оксидов.
Предназначена для научных работников, преподавателей, аспирантов, студентов физических вузов.