Физика СВЧ вакуумно-плазменных нанотехнологий

Р.К. Яфаров

Физика СВЧ вакуумно-плазменных нанотехнологий

бумажная книга
Проверить наличие на складах

Склад в Москве

Ожидаемое поступление (если вы сделаете заказ прямо сейчас): 25.12.2025; планируемая отправка: 26.12.2025

Склад в С.-Петербурге

Ожидаемое поступление (если вы сделаете заказ прямо сейчас): 28.12.2025; планируемая отправка: 29.12.2025


Технические характеристики
Издательство:
Физматлит
Дата выхода:
ноябрь 2009
ISBN:
978-5-9221-1150-8
Объём:
216 страниц
Масса:
501 г
Обложка:
мягкая

В книге обозначены и насколько возможно полно раскрыты современные тенденции и подходы в разработке СВЧ плазмохимического оборудования и нанотехнологий на его основе. Излагаются математическая теория диффузионных процессов и основы теории плазмы газового разряда в магнитном поле, описаны применяемые методы решения стохастических дифференциальных уравнений и уравнений Фоккера-Планка-Колмогорова. Даны обобщение и системное изложение опыта и результатов по разработке физико-технических основ новых типов микроволновых плазменных устройств. Приведены результаты практического использования микроволновых источников плазмы. Материалы книги могут быть задействованы в учебном процессе в качестве спецкурсов или спецсеминаров для студентов вузов соответствующего профиля.



Полная версия

Мы принимаем
Подробнее об оплате

1996-2025 © OTALEX