Издательство: | Академия/Academia |
Дата выхода: | март 2010 |
ISBN: | 978-5-7695-4712-6 |
Объём: | 416 страниц |
Масса: | 483 г |
Обложка: | твёрдая |
В учебнике изложены современные представления о физико-химических основах технологических процессов электроники, особенности термодинамики химических и фазовых равновесий, кинетические характеристики процессов. Рассмотрены процессы зародышеобразования, ро