Ожидаемое поступление (если вы сделаете заказ прямо сейчас): 20.12.2025; планируемая отправка: 21.12.2025
Ожидаемое поступление (если вы сделаете заказ прямо сейчас): 17.12.2025; планируемая отправка: 18.12.2025
Технические характеристики
Рассмотрены основные положения общей и физической химии в технологических процессах интегральных микросхем и микро-электромеханических систем. Основное внимание уделено химическим процессам в серийном производстве микро-наноэлементов, материалам и оборудованию, обеспечивающего данные процессы. Приводятся конкретные технологические процессы химической подготовки и обработки технологических слоёв и их особенности в серийном производстве. Учебное пособие предназначено для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлениям подготовки бакалавриата и магистратуры «Электроника и наноэлектроника», «Конструирование и технология электронных средств».