Ожидаемое поступление (если вы сделаете заказ прямо сейчас): 17.01.2026; планируемая отправка: 18.01.2026
Ожидаемое поступление (если вы сделаете заказ прямо сейчас): 20.01.2026; планируемая отправка: 21.01.2026
Технические характеристики
Книга посвящена рассмотрению широкого круга физических принципов, определяющих технологические процессы изготовления интегральных схем радиоэлектронной аппаратуры — технологии получения кремниевых пластин, их оксидирования, диффузии, ионного легирования, литографии, сухого травления, сборки и герметизации готовых микроприборов. Также рассмотрены процессы формирования тонких пленок различными технологическими методами. Приведены основные схемы технологического оборудования и оснастки.