Ожидаемое поступление (если вы сделаете заказ прямо сейчас): 27.12.2025; планируемая отправка: 28.12.2025
Ожидаемое поступление (если вы сделаете заказ прямо сейчас): 30.12.2025; планируемая отправка: 31.12.2025
Технические характеристики
Книга посвящена рассмотрению широкого круга физических принципов, определяющих технологические процессы изготовления интегральных схем радиоэлектронной аппаратуры — технологии получения кремниевых пластин, их оксидирования, диффузии, ионного легирования, литографии, сухого травления, сборки и герметизации готовых микроприборов. Также рассмотрены процессы формирования тонких пленок различными технологическими методами. Приведены основные схемы технологического оборудования и оснастки.