Во второй части книги продолжено описание результатов исследований, разработки и производства субмикронных МОП-транзисторов: представлены особенности формирования канала и затвора, рассмотрены вопросы влияния горячих носителей и технологических процессов изготовления МОПТ на надежность готовых приборов. Книга предназначена для специалистов в области проектирования и разработки технологии изготовления КМОП СБИС, а также для студентов старших курсов, аспирантов и преподавателей технических вузов.