Приведены теоретические сведения, необходимые для выполнения лабораторных работ, методика и последовательность проведения работ. Пособие предназначено для студентов IV курса специальности 21010465 "Микроэлектроника и твердотельная электроника". Пособие подготовлено в рамках Программы создания и развития НИЯУ МИФИ.