Авторами проведен анализ достижений и проблем бурно развивающихся в настоящее время лазерных микротехнологий. Рассмотрены основные физико-химические особенности лазерностимулированных микропроцессов на поверхности твердого тела.
Представлены результаты исследований отечественных и зарубежных специалистов по лазерной обработке микроструктур интегральных схем. Дается описание лазерного оборудования для производства изделий электронной техники. Проанализированы возможности создания комплексов лазерного оборудования с обработкой интегральных схем in situ в замкнутом вакуумном объеме.
Книга рассчитана на широкий круг специалистов в области электронных технологий и рекомендуется преподавателям, аспирантам, студентам для более углубленного изучения вопросов теории и практики по этому направлению.