В современной микроэлектронике наиболее интенсивно развивающимся сектором являются микроэлектромеханические системы, MEMS. Это направление базируется на последних достижениях микроэлектронных технологий и имеет целью создание исполнительных микромеханизмов,обладающих не достижимыми ранее функциональными возможностями. В последние годы MEMS оказывает большое влияние на повседневную жизнь десятков миллионов людей,через создания новых рынков мобильной электроники, обладающих ранее неизвестными потребительскими свойствами и на отрасли промышленности,- автомобильную, электронную,аэрокосмическую, медицинскую и т.д. Однако к настоящему времени большинство специалистов, разработчиков электронной техники и пользователей устройств высоких технологий обладает недостаточной информацией о новом направлении микроэлектроники. В книге рассматривается современное состояния этого направления микроэлектроники, широкий спектр его практических возможностей и перспектив дальнейшего развития. Рассматриваются физические принципы функционирования MEMS, их характеристики. Книга рассчитана на специалистов в области микроэлектроники, информатики, и на студентов технических вузов.

Данное издание не является оригинальным. Книга печатается по технологии принт-он-деманд после получения заказа.