Im Rahmen der Arbeit werden auf durchgefuhrte Strukturierungsversuche an dielektrischen Materialien an der Femtosekundenlaseranlage FS-150-10 naher eingegangen. Es wurden fur dieses Themengebiet in der Praxis relevante Materialien wie Quarzglas, Aluminiumoxid, Calciumfluorid und Polytetrafluorethylen ausgewahlt. Ziel war neben der Ermittlung der Abtragsparameter die Optimierung von verschiedenen Strukturqualitaten der einzelnen Materialien. Hierfur wurden Teststrukturen erzeugt, die hinsichtlich ihrer Oberflachenqualitaten und Rauhigkeiten am Strukturgrund sowie Debris untersucht und ausgewertet wurden. Zum Schluss erfolgte die Realisierung von Demonstratorstrukturen in die verschiedenen Materialen.

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