Учебное пособие составлено в соответствии с Государственным образовательным стандартом (ГОСом) по специальности высшего профессионального образования "Нанотехнология в электронике".
В нем рассматривается система современного высшего технического образования, особенности обучения в вузе, фундаментальные основы инженерной деятельности.
Данное пособие знакомит читателя с историческими этапами зарождения наноэлектроники, определяет роль микроэлектроники на современном этапе. Также приведены теоретические основы и особенности наноэлектроники, отражены особенности инструментального и технологического обеспечения ее развития.
Рассматриваются достижения нанотехнологии в электронике, перспективы и тенденции ее дальнейшего развития.
Пособие предназначено для студентов вузов, обучающихся по специальности "Нанотехнология в электронике".