Монография, написанная известными американскими специалистами в обла-сти атомных столкновений в твердых телах, посвящена физическим основам иметодам использования пучков ионов, электронов н рентгеновского излучениядля анализа структуры н состава тонких пленок вещества. Эти методы играютважную роль в развитии современной атомной технологии, особенно в областимикроэлектроники. Все вопросы изложены на высоком научном уровне.Для специалистов, ннтересующнхся проблемами анализа поверхности н тон-ких пленок, аспирантов и студентов. Воспроизведено в оригинальной авторской орфографии издания 1989 года (издательство "Мир").