Основы технологии электронной компонентной базы

Основы технологии электронной компонентной базы

Бодров Е. Э.

     

бумажная книга



Издательство: Инфра-Инженерия
Дата выхода: сентябрь 2021
ISBN: 978-5-9729-0846-2
Объём: 204 страниц
Масса: 359 г

Рассмотрены основы технологии производства интегральных микросхем. Приведены технологические операции изготовления основных элементов микро- и наноэлектроники, такие как производство полупроводниковых пластин, их легирование, нанесение тонких пленок, фотолитография, травление, металлизация, контроль процесса производства.Для студентов, обучающихся по направлению подготовки 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника».

Каталог