An Bestuckungsmaschinen fur die Halbleiterproduktion (Die-Bonder) werden hohe Anforderungen hinsichtlich Genauigkeit und Durchsatz gestellt. Aus diesen Anforderungen leitet sich die Aufgabenstellung der Diplomarbeit ab: Erhohung der Maschinengenauigkeit und Verbesserung der Zykluszeiten der Maschine. Im Rahmen dieser Diplomarbeit werden drei Zugange zu diesen Problemstellungen gewahlt: Servoregelung: Die Positionsregelung der Antriebe hat einen wesentlichen Einfluss. Im Speziellen wird das erganzende Feedforward betrachtet und ein Algorithmus entwickelt, der eine optimale Einstellung der entsprechenden Parameter ermoglicht. Bewegungsprofile: Die Verlaufe von Beschleunigung, Geschwindigkeit und Position der Achsbewegungen konnen prinzipiell frei gewahlt werden. Ziel dieses Kapitels ist es daher, optimale Bewegungsprofile hinsichtlich Verfahrzeit und Verlustleistung zu finden. Maschinendynamik: Die dynamischen Eigenheiten des Maschinengestells konnen die Maschinengenauigkeit stark beeinflussen. Daher steht in diesem Kapitel die Optimierung in maschinenbaulicher Hinsicht im Vordergrund, um Probleme durch mechanische Schwingungen zu minimieren.

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