Prazisionsmessgerate wie beispielsweise Oberflachenmessgerate, verlangen einen extrem hohen Standart an Fuhrungsgenauigkeit. Herkommliche Gleitlager bringen in Abhangigkeit ihrer Einsatzdauer einen Verschleiss mit sich. Es ist also naheliegend, eine kontaktlose Fuhrung zu konstruieren, um von Oberflachen unabhangig zu sein. Eine Losung dafur ware das reibungsarme Luftlager. Die Nachteile beider Hauptarten dieser Lagerart sind jedoch nicht vernachlassigbar: Statische Luftlager benotigen eine externe Druckluftquelle, was zu einem unhandlichen und teuren Zusatzsystem fuhrt; dynamische Luftlager arbeiten nur mit hohen Geschwindigkeiten, die zur Abnutzung wahrend der Start- und Stopphasen fuhren. Ausserdem bringt das Standartluftlager den Nachteil einer starken Eigenschwingung mit sich, so dass keine sichere Fuhrung gewahrleistet werden kann. Das Piezoluftlager, welches in dieser Arbeit als eine neue Bauart eines Druckluftlagers vorgestellt wird, hat diese Schwachstellen nicht, so dass es auf Grund der geringen Reibung die Anforderungen erfullen kann. Fragen zu weiteren Forschungsarbeiten bitte an: [email protected]

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