ISBN: | 978-5-458-26358-0 |
В практикуме описаны лабораторные работы по химии и технологии полупроводни ков. Пособие предназначено для изучения основных методов физико-химического исследования конденсированных систем (ДТА, тензиметрические методы, построена Р Т х-диаграмм, методы микроструктурного анализа и микротвердости), различны, методов синтеза, кристаллизационной очистки и выращивания монокристаллов полу проводниковых соединений, а также знакомит с основными технологическими опера циями в производстве полупроводниковых приборов (окисление, диффузия, эпитаксия, травление). Воспроизведено в оригинальной авторской орфографии издания 1978 года (издательство "Высшая школа").