Ожидаемое поступление (если вы сделаете заказ прямо сейчас): 10.01.2026; планируемая отправка: 11.01.2026
Ожидаемое поступление (если вы сделаете заказ прямо сейчас): 13.01.2026; планируемая отправка: 14.01.2026
Технические характеристики
Дано описание общей последовательности процессов микротехнологии на примерах производства интегральных микросхем и кремниевого микродатчика давления. Рассмотрены основные этапы получения кремниевых монокристаллических пластин, ключевые операции микротехнологии — изготовление кремниевых пластин, оксидирование. Акцентировано внимание на взаимосвязи между свойствами материалов, структуры, устройством и электрическими характеристиками микроструктур. Рассмотрены физико-химические модели и методы анализа качества технологических процессов микротехнологии.
Для студентов МГТУ имени Н.Э. Баумана, обучающихся по направлениям Электроника и наноэлектроника и Наноинженерия.