Процессы и оборудование микротехнологии. Модули 1 и 2

Процессы и оборудование микротехнологии. Модули 1 и 2

Цветков Ю.Б.

     

бумажная книга

12.47 USD


В корзину


Наличие на складе:

Склад в Москве

Ожидаемое поступление (если вы сделаете заказ прямо сейчас): 13.11.2024; планируемая отправка: 14.11.2024

Склад в С.-Петербурге

Ожидаемое поступление (если вы сделаете заказ прямо сейчас): 16.11.2024; планируемая отправка: 17.11.2024



Издательство: МГТУ им. Баумана
Дата выхода: март 2019
ISBN: 978-5-7038-4864-7
Объём: 162 страниц
Обложка: мягкая

Дано описание общей последовательности процессов микротехнологии на примерах производства интегральных микросхем и кремниевого микродатчика давления. Рассмотрены основные этапы получения кремниевых монокристаллических пластин, ключевые операции микротехнологии — изготовление кремниевых пластин, оксидирование. Акцентировано внимание на взаимосвязи между свойствами материалов, структуры, устройством и электрическими характеристиками микроструктур. Рассмотрены физико-химические модели и методы анализа качества технологических процессов микротехнологии.
Для студентов МГТУ имени Н.Э. Баумана, обучающихся по направлениям Электроника и наноэлектроника и Наноинженерия.

Каталог