12.47 USD
Наличие на складе:
Ожидаемое поступление (если вы сделаете заказ прямо сейчас): 05.12.2024; планируемая отправка: 06.12.2024
Ожидаемое поступление (если вы сделаете заказ прямо сейчас): 08.12.2024; планируемая отправка: 09.12.2024
Издательство: | МГТУ им. Баумана |
Дата выхода: | март 2019 |
ISBN: | 978-5-7038-4864-7 |
Объём: | 162 страниц |
Обложка: | мягкая |
Дано описание общей последовательности процессов микротехнологии на примерах производства интегральных микросхем и кремниевого микродатчика давления. Рассмотрены основные этапы получения кремниевых монокристаллических пластин, ключевые операции микротехнологии — изготовление кремниевых пластин, оксидирование. Акцентировано внимание на взаимосвязи между свойствами материалов, структуры, устройством и электрическими характеристиками микроструктур. Рассмотрены физико-химические модели и методы анализа качества технологических процессов микротехнологии.
Для студентов МГТУ имени Н.Э. Баумана, обучающихся по направлениям Электроника и наноэлектроника и Наноинженерия.