7.35 USD
Наличие на складе:
Ожидаемое поступление (если вы сделаете заказ прямо сейчас): 14.09.2024; планируемая отправка: 15.09.2024
Ожидаемое поступление (если вы сделаете заказ прямо сейчас): 17.09.2024; планируемая отправка: 18.09.2024
Издательство: | Бином |
Серия: | Нанотехнологии |
Дата выхода: | январь 2014 |
ISBN: | 978-5-9963-0032-7 |
Тираж: | 770 экземпляров |
Объём: | 283 страниц |
Масса: | 401 г |
Обложка: | твёрдая |
В свете современного развития нанотехнологии и микромеханики рассмотрены процессы и системы вакуумно-плазменного травления, находящие широкое применение в производстве современных ультрабольших интегральных схем, изделии микроэлектромеханических систем и наносистем. Проанализированы способы обеспечения вакуумно-технических требований к проведению этих процессов, приведены методы контроля и диагностики, позволяющие достаточно глубоко понять характер протекающих процессов с целью соответствующей оптимизации технологии и оборудования.
Для студентов вузов, изучающих процессы микро- и наноэлектроники, а также аспирантов, инженеров и научных работников, занимающихся вопросами технологии интегральных схем и микромеханики.