Semiconductor Wafer Cleaning Using Megasonics. Role of Electro-Acoustic and Cavitation Effects in Electrolyte Solutions

Semiconductor Wafer Cleaning Using Megasonics. Role of Electro-Acoustic and Cavitation Effects in Electrolyte Solutions

Keswani Manish

     

бумажная книга



Издательство: Книга по требованию
Дата выхода: июль 2011
ISBN: 978-3-6390-9030-7
Объём: 172 страниц
Масса: 282 г
Размеры(В x Ш x Т), см: 23 x 16 x 1

Megasonic cleaning is routinely used in the semiconductor industry to remove particle contaminants from wafer and mask surfaces. Cleaning is achieved through proper choice of chemical solutions, power density

Данное издание не является оригинальным. Книга печатается по технологии принт-он-деманд после получения заказа.

Каталог