Сфокусированный ионный пучок

Сфокусированный ионный пучок

Jesse Russell Ronald Cohn

     

бумажная книга



ISBN: 978-5-5095-3998-5

High Quality Content by WIKIPEDIA articles! Сфокусированный (фокусированный) ионный пучок (СИП или ФИП) (англ. Focused ion beam (FIB)) — широко используемая методика в материаловедении для локального анализа, напыления и травления материалов. Установка для ионного травления напоминает растровый электронный микроскоп. В электронном микроскопе используется пучок электронов, тогда как в СИП применяют более тяжелые частицы — ионы (с большей кинетической энергией). Бывают установки, использующие оба вида пучков. Не следует путать СИП с устройством для литографии, где также используется ионный пучок, но слабой интенсивности, а в травлении основным является свойства самого резиста.