В пособии, посвященном механике микросистем, излагаются основы теории механических колебаний, анализа напряженно-деформированного состояния несущих элементов, демпфирования колебаний. Рассматриваются современные конструкции микрогироскопов, акселерометров, микрозеркал, что обусловлено большим практическим интересом к таким приборам. Для студентов, обучающихся по специальностям «Микросистемная техника» и «Микроэлектроника и твердотельная электроника». Может быть полезно аспирантам и инженерам, занимающимся исследованием и разработкой микросистемной техники.