Учебное пособие содержит краткие сведения о технологиях производства наноматериалов и наноструктур, методах контроля кристаллической структуры и размеров нанокристаллитов, методах контроля электронной структуры и типа химических связей в наноматериалах, а также типа и концентрации точечных дефектов в наноматериалах. Соответствует требованиям федеральных государственных образовательных стандартов высшего образования последнего поколения. Для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлениям подготовки бакалавров "Электроника и наноэлектроника", "Нанотехнологии и микросистемная техника" и направлениям подготовки магистров "Электроника и наноэлектроника", "Нанотехнологии и микросистемная техника".