9.73 USD
Наличие на складе:
Ожидаемое поступление (если вы сделаете заказ прямо сейчас): 20.08.2024; планируемая отправка: 21.08.2024
Ожидаемое поступление (если вы сделаете заказ прямо сейчас): 23.08.2024; планируемая отправка: 24.08.2024
Издательство: | Наука |
Дата выхода: | август 2018 |
ISBN: | 978-5-02-040089-4 |
Объём: | 138 страниц |
Монографический сборник представляет теоретические и экспериментальные результаты, полученные сотрудниками Института в области физики, моделирования и технологий передовых нанотранзисторных структур для логических интефальных схем (УБИС). наноструктур для твердотельных генераторов терагерцового диапазона частот. Представлены исследования ключевых технологических процессов изготовления таких приборов с критическими размерами 11-32 нм: электронно-лучевой литографии, плазменного нано-структурирования, атомно-слоевого осаждения диэлектриков и металлов. Приводятся результаты в области микроструктурирования пористых low-k диэлектриков для систем многоуровневой металлизации. Большинство исследований проведено в рамках Программы ФНИ ФАНО России. Для специалистов в области микро- и наноэлектроники, аспирантов и студентов старших курсов соответствующих специальностей.