Die vorliegende Arbeit beschreibt ein neuartiges Kombigerat, das eine visuell unterstutzte und ortsaufgeloste, spektroskopische Charakterisierung von ultradunnen Schichten unter Verwendung von polarisiertem Licht ermoglicht. So sollen, durch die Kombination eines Reflexionsspektrometer mit einem abbildenden Ellipsometer, moglichst viele Informationen zur Probe bei einer einzigen Messung erzielt werden. Zunachst werden die physikalischen Grundlagen der einzelnen Messgerate aufgearbeitet und deren Funktionsweise erlautert. Anschliessend werden die wichtigsten opto-mechanischen Baugruppen sowie der Gesamtaufbau des Kombigerats vorgestellt. Nach der Entwicklung eines geeigneten Kalibrierverfahrens wird der aufgebaute Prototyp an Modelsystemen ultradunner Schichten spezifiziert. Dabei wird speziell die Aggregationsarchitektur eines Zyaninfarbstoffs untersucht. Ein derartiges Gerat konnte in biotechnologischen Fragestellungen, aber auch in der Materialforschung eingesetzt werden, da in vielen Anwendungen der Trend zu kleineren Strukturbreiten geht. So fordert z. B. die Halbleiterindustrie die Verkleinerung von Testflachen auf Wafern, um die nutzbare Flache zu vergrossern.

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