In der Vakuumtechnik wird das Prozessverhalten durch Partikel negativ beeinflusst. Eine Quelle fur die Entstehung von Partikeln ist der Dichtbereich des Ventils. In dieser Arbeit wurde das Verhalten eines bestimmten Dichtmaterials (Viton) beim Abdichtvorgang untersucht. Durch verifizierte Simulationen wurden Kraft-Weg-Kennlinien generiert, die fur die konstruktive Auslegung des Vakuumventils und dessen Antriebseinheiten verwendet werden. Von signifikanter Bedeutung ist das Verhalten des Dichtwerkstoffes wahrend des Schliessvorganges. Um das Materialverhalten beschreiben zu konnen, wurden Materialversuche durchgefuhrt. Diese Kennwerte bildeten die Grundlage der Finite Elemente Simulation. Simuliert wurde das Dichtmaterial in verschiedenen Dichtnuten (Geometrie und Dimension). Die Simulation konnte durch entsprechende Messdaten verifiziert werden. Eine wichtige Messdatenquelle ist hierbei das ESPI (Electronic Speckle Pattern Interferometry) Verfahren. Durch dieses Verfahren ist es moglich, Verschiebungen des Dichtmaterials in der Dichtnut zu messen. Durch diese Arbeit konnte ein verifiziertes Simulationsmodell fur Viton zur Verfugung gestellt werden.

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