Введение в процессы интегральных микро - и нанотехнологий. Том 1. Физико-химические основы технологии микроэлектроники

Лев Константинович Чистяков

Введение в процессы интегральных микро - и нанотехнологий. Том 1. Физико-химические основы технологии микроэлектроники

бумажная книга
Проверить наличие на складах

Дата отгрузки на данный момент неизвестна.

Товар закончился у основного поставщика, и, после получения заказа от вас, мы закажем его у других поставщиков. Мы не можем гарантировать выполнение данного заказа, поэтому настоятельно не рекомендуем заказывать данный товар, используя предоплату (банковский перевод и т.п.). Заказ на такой товар действителен в течение 3 недель (если в течение 3 недель товар не придет, заказ будет отменен). Однако, это не означает, что товар нельзя заказать вновь, поскольку в некоторых случаях возможны и более поздние поставки.


Технические характеристики
Издательство:
Бином
Дата выхода:
сентябрь 2010
ISBN:
978-5-9963-0335-9
Тираж:
772 экземпляров
Объём:
392 страниц
Обложка:
твёрдая

Разделение данной книги на 2 тома обусловлено большим объемом материала, касающегося интегральных микро - и нанотехнологий; при этом каждый из томов представляет вполне самостоятельный интерес.
В первом томе основное внимание обращается на анализ физико-химических основ ключевых технологических процессов микроэлектроники, таких как гетерогенное фазообразование, перераспределение вещества при термической и нетермической активации процессов, фотохимическое воздействие различных излучений, полей и др.
Взаимосвязь этих процессов на протяжении всего технологического цикла изготовления интегральных схем устанавливается путем рассмотрения проблем межфазного взаимодействия в неравновесных микрогетерогенных системах, совместимости контактирующих материалов, анализа критериев, позволяющих прогнозировать физико-химический характер взаимодействия с использованием диаграмм фазовых равновесий.
Для студентов, изучающих технологию микроэлектроники и радиотехнических микроэлектронных устройств, аспирантов и специалистов.



Полная версия

Мы принимаем
Подробнее об оплате

1996-2025 © OTALEX