Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий. Учебное посбие для вузов т.2

Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий. Учебное посбие для вузов т.2

М.А. Акуленко

     

бумажная книга

8.11 USD

В корзину

Наличие на складе:

Склад в Москве

Ожидаемое поступление (если вы сделаете заказ прямо сейчас): 08.05.2024; планируемая отправка: 09.05.2024

Склад в С.-Петербурге

Ожидаемое поступление (если вы сделаете заказ прямо сейчас): 11.05.2024; планируемая отправка: 12.05.2024

Продать эту книгу

Издательство: Бином
Серия: Нанотехнологии
Дата выхода: январь 2014
ISBN: 978-5-9963-0336-6
Объём: 252 страниц
Размеры(В x Ш x Т), см: 22 x 15
Обложка: твёрдая
Многотомное издание: том 2

Во втором томе изложены технологические и конструктивные основы и особенности методов формирования и "сухого" травления на поверхности подложки тонких слоев и локальных областей проводящих, диэлектрических и полупроводниковых материалов в условиях уменьшения размеров элементов до нанометрового диапазона для интегральных технологий микро- и наноэлектроники, оптоэлектроники, микросистемной техники.

Каталог