Ожидаемое поступление (если вы сделаете заказ прямо сейчас): 21.12.2025; планируемая отправка: 22.12.2025
Ожидаемое поступление (если вы сделаете заказ прямо сейчас): 24.12.2025; планируемая отправка: 25.12.2025
Технические характеристики
Во втором томе изложены технологические и конструктивные основы и особенности методов формирования и "сухого" травления на поверхности подложки тонких слоев и локальных областей проводящих, диэлектрических и полупроводниковых материалов в условиях уменьшения размеров элементов до нанометрового диапазона для интегральных технологий микро- и наноэлектроники, оптоэлектроники, микросистемной техники.