Процессы и оборудование микротехнологии. Модули 1 и 2
Цветков Ю.Б.
Дано описание общей последовательности процессов микротехнологии на примерах производства интегральных микросхем и кремниевого микродатчика давления. Рассмотрены основные этапы получения кремниевых монокристаллических пластин, ключевые операции микротехнологии — изготовление кремниевых пластин, оксидирование. Акцентировано внимание на взаимосвязи между свойствами материалов, структуры,...
ISBN: 978-5-7038-4864-7
Издательство:
МГТУ им. Баумана
Дата выхода: март 2019
Найденных опечаток пока нет
Добавить запись